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長治量具校準附近單位--世通歡迎你

2019/10/20 21:25:43 來源:廣東省世通儀器檢測服務有限公司 >> 進入該公司展臺 已瀏覽:次

長治量具校準附近單位--世通歡迎你
電感測微儀的儀器校正技術


隨著科學技術的發展,對計量技術的要求越來越高,尤其是當代宇航和天文等*技術的發展,要求計量向納米技術發展,納米計量和標定技術成為目前各學科必須解決的問題。因此國內外儀器計量部門都在研究和生產各種納米級準確度的計量儀器,并探討其標定和校正方法,以滿足科學技術發展的需要。近幾年來,世界各國相繼研制*了各種納米量級的測微儀,它們包括激光干涉儀、電容測微儀和電感測微儀,這些測微儀雖然已經在許多學科及部門得到了廣泛應用,有的測微儀的準確度到底如何?就目前的方法是無法進行測定的。另外,還有一些微位移進給器件,例如壓電陶瓷等,雖然應用范圍很廣,但其非線性和位移準確度如何?有時也沒有可靠的檢測手段。
一、基于有基準的儀器校正技術
有基準方法是傳統的對比儀器校正,此方法在儀器計量部門對各種新設備的標定、舊設備的校正以及各個學科的實際工程技術測量中都得到了廣泛的應用。
有基準儀器校正法的基本原理是:對于任何被測量新的或在用過程中的檢測設備,為了確定其測量結果的可靠性,通常采用比被測量準確度更高等級的檢測設備,準確地標定其在測量范圍內的測量準確度、分辨力、穩定性等性能指標。從該方法的原理看出,對于長度計量的位移傳感器的儀器校正技術,必須解決兩個關鍵性問題:一是具有更高等級準確度、更高分辨力的測微系統;二是能夠提供足夠小的達到測微系統分辨力的微位移機構。只有滿足了上述兩個條件,才能真正對測微系統的分辨力、準確度、穩定性等性能指標給予精確的評價。對于具有有效測量面積位移傳感器的測微系統,采用這種原理進行標定的方法主要有以下幾種:
1、小角度檢查儀(正弦尺)標定方法
用小角度檢查儀和標準量塊對精密電容測微儀的標定方法是80年代末期,儀器計量部門針對具有有效測量面積的電容和電感測微儀而制定的一種標定方法,其具體的工作原理在小角度檢查儀左、右兩端的指示計安裝架中,分別裝上接觸式光干涉儀,并將事先經過精確調整或加工的孔距為50±0.02mm的夾具,裝在接觸式干涉儀上。在夾具左端的孔中裝上被標定測微儀的傳感器,經調整,使傳感器測頭軸心線端點與接觸式干涉儀測頭頂點在同一條直線上,且和橋形工作臺縱向對稱中線相重合,安裝結果如圖1-1所示。小角度檢查儀經過上述調整,構成了50:500即1:10的杠桿機構,借助框式水準器,調整橋形工作臺使其臺面基本水平。根據被標定測微儀的實際情況確定受檢點的數值,以此為依據選用相應尺寸和等級的量塊,如檢定量程為±10mm的精密電容式測微儀時,則選用1,1.005和1.010mm的量塊。為使接觸式干涉儀定位可靠,再選用一塊不低于5等的1mm量塊。
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分別將兩塊lm量塊,椎入接觸式干涉儀測頭下面對零,將作為電容傳感器測量極板的標準量塊推入被標定傳感器測頭的下面,上下移動傳感器測頭調整好初始間隙,將電容式測微儀的輸出顯示調整到零。然后在小角度儀的右端推入1.005mm量塊,換掉其接觸式干涉儀下面l哪的量塊,同時用右端的升降機構調整橋形工作臺,使接觸式干涉儀重新指示為零,這時讀取電容測微儀的顯示值。用同樣方法,推入1.010mm的量塊更換掉干涉儀下面1.005mm的量塊,以檢定10mm的受檢點。這樣我們對精密電容測微儀的正量程就完成了標定。這時用1.010mm的量塊對電容測微儀進行調零,采用1.005mm和1m的量塊分別檢定電容測微儀-5mm和-10mm的受檢點。通過上述兩個步驟可對被檢測微儀完成一次標定。當然對于被檢定的測微系統的準確度和測量范圍的不同,其受檢的點數和受檢的范圍也各不相同,但其標定的方法完全一樣。各受檢點的測得值與受檢點的標稱值之*差值,即測量范圍內的示值誤差,其誤差不得超過測微系統的允許值。采用此方法也可以對同等準確度的激光干涉儀或同等準確度的其它計量器具進行標定。
從上面的論述可以看出,采用這種裝置和標定方法對被檢測微系統的標定,其標定的準確度不僅取決于標定量塊的精度等級,而且與小角度檢查儀兩端的干涉儀的準確度、小角度檢查儀右端的升降機構的調整精度都密切相關。用這種方法標定的測微系統的精度*可達0.02um,完全可以滿足許多測微系統的要求,但對超精密測微系統采用此方法進行標定,其精度很難滿足測微系統精度的需要。
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2、杠桿式比例斜面位移放大機構標定方法
隨著精密測微系統研制和其在計量生產各部門的廣泛應用,對這些測微系統精確標定的問題顯得愈來愈尖銳。因此儀器計量部門對其精確標定也進行了研究,在九十年代初期推出了杠桿式斜塊測微儀檢定器,其具體的工作原理如圖1—2所示。首先將精密測微系統的傳感器,根據其測量范圍和分辨力裝入檢定器的支架孔中,按照杠桿原理以一定的比例縮小被檢測微系統的位移量,以便提高標定的準確度。調整被檢傳感器的安裝位置,使精密測微儀的示值在測量范圍的下限,待測微儀示值穩定后即可記下測微儀的讀數,作為被檢測微儀的受檢起始點。根據被檢精密測微系統的測量范圍和分辨力確定其受檢點數和受檢數值,以此為依據單向微動檢定器上的微位移微分筒,并觀察微分筒鼓輪上的讀數到達第二個受檢點位置,待測微儀示值穩定后記錄其示值;依此類推,對其它受檢進行檢測實現對測微儀的全量程標定。各受檢點的測得值與受檢點標稱值的比例縮小值之間的*差值,即為測微系統在測量范圍內的示值誤差,其誤差不得超過其系統的允許值。
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另外,在杠桿式斜塊測微儀檢定器上還可以檢定測微儀的分辨力。根據測微儀的分辨力指標將傳感器安裝到檢定器的支架孔中,調整傳感器位置使其示值在測量范圍中間位置,單向微動檢定器的微分筒,待受檢測微儀的示值穩定后,在檢定器的微分筒鼓輪上讀數。繼續單向微動檢定器微分筒,同時觀察測微儀的示值變化。當剛使測微儀的示值發生變化時,再次在檢定器微分筒鼓輪上讀數。兩次讀數之差,即為精密測微系統的分辨力。
從杠桿式斜塊測微儀檢定器的工作原理可以看出,其標定的準確度,不但與檢定器上微位移微分筒的精確度有關,而且杠桿位移縮小的比例、杠桿剛度、杠桿支點的剛度等因素將直接影響其標定的準確度。
3、納米激光偏振干涉儀標定方法
在八十年代末九十年代初,由于高精度軸系和精密微位移測量的要求已越來越高,國內對分辨力達0.01um的各類微位移測量儀的應用己日趨普遍。
為了解決這類測微儀標定的需要,北京航天部*計量測試研究所和上海機床廠磨床研究所,相繼研制出納米級激光偏振干涉儀和0.001微米位移比對儀,其*分辨力達到0.1納米、準確度達到3納米。并在此基礎上研制了相應的標定裝置
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該標定裝置由干涉儀主體部件、角度測量部件、微位移部件三個主要部分組成,具體工作原理如下:
干涉系統是干涉儀的主體組成部件,在標定過程中產生干涉條紋。其具體工作原理是:當可動鏡6位移入/2時,偏振光的偏振面旋轉1800的轉角,此時干涉條紋的明暗變化一個周期,利用此關系可對干涉條紋進行細分。得到很高的分辨率。
角度測量部件(由圖1—3中的9、10、11、12組成)的工作原理如圖1-4所示,是細分干涉條紋的機構,其中1、3、4、5、7、8組成測角系統,2、6、9組成尋找偏振面系統。當可動鏡位移時。干涉條紋發生明暗變化,可用檢偏器2隨光柵盤后的位置,從而測出偏振面旋轉角所轉過的角度,由可逆記數器輸出位移量。
微位移部件是標定裝置不可缺少的組成部分。它是可動鏡產生位移的驅動機構,可動鏡1安裝在片簧導軌2上,鏡框后面安裝了被檢傳感器和電致伸縮器,當用連續可調直流電源給其施加電壓時,即可使可動鏡產生位移,同時在干涉儀和被檢傳感器上可把位移量顯示出來,實現標定的目的。
用該儀器進行檢測時,首先將儀器調整到正常工作狀態,將被檢傳感器安裝在被檢定系統中,調整連續可調直流電源給電致伸縮器施加電壓,可動鏡產生位移,通過調整主機上檢偏器的位置,尋找偏振面的旋轉角度,由可逆記數器顯示可動鏡的位移量,與此同時被檢傳感器也檢測出了可動鏡的位移量,兩者之間的*差值即為標定的示值誤差。
上述分析可以看出,采用這種方法對精密測微儀進行標定時,具有許多優點:①直接采用激光(6328埃)光波作基準與被測量進行比較,消除了傳動鏈長、接觸剛性差等傳遞誤差,大大提高了標定的準確度;②基準測微儀利用偏振光干涉法,因而可以利用測角儀測量偏振面的旋轉角得到干涉條紋的小數,使其分辨力大大提高;⑧利用該標定裝置還可以對同等準確度的其它傳感器以及壓電陶瓷微位移驅動器的非線性等進行檢定,如果對工作臺和導軌稍加改進,還可以擴大其應用范圍,充分發揮其作用。
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野外施測過程中,短距離遷站,可將儀器連同三腳架一起搬動。遷站前,應將望遠鏡直立(物鏡朝下),各部制動螺旋微微旋緊、垂球摘下并檢查連接螺旋是否旋緊。遷站時,腳架合攏后,一手攜持腳架子肋下,一手緊握基座,置儀器于胸前,切不可單手提攜或肩扛,以免碰撞損壞儀器。持儀器前進時,穩步中速行走;距離較遠或需跨越河流、溝谷和陡坡山路時,儀器應裝箱背運,必要時,可手扶標桿或木棍,以防滑倒。途中如儀器在箱中晃動或有異常聲響,應立即開箱檢查,弄清原因,妥善處理。
儀器長途運輸時,要切實作好防震防潮工作。為此,可將儀器箱置于軟墊上或四周塞滿刨花、紙屑的木箱中。裝車時務必使儀器箱正放不可倒置。長途運輸,一般均應遮蓋防雨布。儀器由作業人員乘汽車攜帶時,應將儀器箱抱持懷中,以防顛簸震動,損壞儀器。
儀器應存放在通風、干燥、溫度穩定的房間里。儀器柜不得靠近火爐或暖氣管。腳架一般應橫放在特制的擱架上,水準尺、標桿應立放,以防因長期存放而彎曲。
每架儀器的各項儀器檢驗、儀器校正須按規定的次序進行,不得任意顛倒,以避免未校正部分的誤差對檢校工作的影響。每項儀器校正,一般均需反復幾次才能完成。誤差較大時,可先“粗”后細”,使之逐步達到完善,以節省儀器校正時間。每項儀器校正完畢時,相應的校正螺旋應處于旋緊狀態。
撥動校正螺絲前,應先辨清其松、緊方向,撥動時,用力要輕、穩、柔和,螺旋應松緊適度。儀器上的校正螺絲一般均上、下或左、右對稱設置,儀器校正時,若欲“緊”其中一個,應先“松”開與之對應的另一個(即先松后緊)。因銹蝕、污膩撥動困難時,可先注以少量煤油或汽油,等待片刻之后,再慢慢撥動;切不可強力扳扭,以免扭斷校正螺絲或損壞儀器零件。所用撥針的粗細應與校正螺絲的孔徑相適應,過細則易將孔口擴大而損壞校正螺絲。
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長治量具校準附近單位--世通歡迎你紫外檢測儀是當今從事生命科學研究、測定、化工、食品科學及醫學研究等行業的現代分析實驗儀器。2.保壓時間:只有達到一定的負壓狀態下,保留一定的時間,才能驗證箱體的密封性是否達到要求。用戶使用中,可根據設備允許振動量值來設定振動烈度的控制值。具有數字顯示功能。每塊試樣以兩個部位的平均磨損體積進行評定。
在對儀器的日常維護中,除完成儀器的常規儀器校正外,還要注意對儀器的保養,對儀器的旋轉部件定期加油潤滑,檢查儀器的各個部件及腳架固定螺絲,防止螺絲松動脫落,并在購買儀器時要求廠家提供儀器所需的多余備用配件及螺絲,對需要充電的儀器,根據使用情況定期充電,提高電池的使用壽命。
儀器除日常的維護保養外,還應根據使用情況定期檢修并全面拆擦清洗(一般可每隔1~2年一次),儀器檢修和拆洗一般應由專門人員或送維修部門進行,切不可自行隨意拆裝而損壞儀器。lysstjc9966

 

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